ニチナン株式会社

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製品概要

メカトロ

ポンプ

㈱アルバック

㈱アルバック

ドライポンプLR/HRシリーズ
独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD,エッチング等の
ハードプロセスでの高耐久性を実現しました。ライトプロセスではECO-SHOCKとの
コンビネーションで最大約70%の消費電力カットが可能です。
また,メンテ性向上と騒音低減をはかり,全機種CE対応可能(オプション)としました。
http://www.ulvac.co.jp/